记得七星华创有小量程的质量流量计

买惰性气体稀释的，例如10%/90%，既可使用正常流量计又可节省气体。FYI.

这么小流量，建议自己制作一个，这种需要定制的，且不是设备，只能实现功能

市面上的转子流量计就能满足你的要求，而且价格实惠！

有个美国的质量流量计，你查一下可以满足你的需求。

你这种应用，建议用精密质量流量计。你的2-3 ml/min, 这个说法不够准确，要么是标况下的2-3 ml/min，要么是你实际工况（确定的温度和压力条件）下的体积流量。既然比较贵重，所以采用质量流量计量才能精确控制气体的量，以及你说的稳定，都是针对质量流量来说。
因为如果体积流量恒定，压力和温度变化，实际上质量流量是不稳的。
你还可以将你具体的要求提出来，我可以提个方案给你参考。或者发我邮箱info@mohizon.com，