PECVD制备氮化硅薄膜
各位虫友好：
刚开始学习PECVD法制备氮化硅薄膜，想请问一下制备时通入的气体除了反应气体SiH4和NH3，还有哪些？
谢谢！
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谢谢你。你也做这方面的吗？
你做的氮化硅是用在哪些方面的？
光学参数测试怎么样，在范围内吗？
还没测光学参数，先调试，看看成膜质量怎么样
，
您好，请问您有没有测试扫描，我做的氮化硅表面总会有一些颗粒，清理了反应腔体和通气管道但是没有效果，测试颗粒成分为Si和N元素，是要考虑条件不够优化，还是其它污染问题？请问您有没有遇到过相同的问题？谢谢