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脉冲激光沉积(pld)工艺求助

作者 liuyulun1225
来源: 小木虫 300 6 举报帖子
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简单说一下情况:用的是KrF准分子激光器,波长是248nm,换算出来光子能量大约是9ev,聚焦在靶材的光斑尺寸不知道怎么测量。靶材是GaN靶和In靶。请大家指导一下,或者告诉我该看什么书。 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • liuyulun1225

    想知道让靶材起辉的激光能量阀值是多少。

  • liuyulun1225

    没人知道么。。。再顶一下。

  • 物理所大师兄

    我们实验室是磁控溅射,这个我比较懂,PLD确实不懂

  • kangye_1989

    起辉阀至可以通过实验得到,不过这台激光器的能量太高了,起始的阀值估计是得不到的,估计最低的能量都能起辉,

  • thingsful

    在靶材上贴一张热敏纸,然后激光打在靶材上,热敏纸就会有黑色的痕迹,显示聚焦后光斑的形状和大小。

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