溅射镀膜是单层膜结合力高还是多层膜结合力高呢
想对陶瓷镀膜金属化再钎焊的，所以比较关心结合力的问题，
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个人从长膜的角度而言，多层结合力要强些
磁控溅射的膜一般结合力都不是很好，好像是多层结合好？没有具体研究，选个合适的过渡层，结合力就提高了
，
溅镀成膜主要跟制程压力和DC power有关，单纯的厚度改变应力会越来越正或者越来越负
界面结合力、膜应力、膜的致密度 都重要