使用射频磁控溅射 溅射硅薄膜。功率150W，气压0.4Pa，溅射了一个小时。得到的薄膜质量很差，感觉像起皮的油漆一样，不知道为什么？ 返回小木虫查看更多
薄膜与沉底不浸润，可能是沉底有污染，没有清洗干净，建议用酒精、丙酮去洗。
磁控溅射得到的薄膜附着力差导致感觉像起皮的油漆一样。参考一下下面文献，看有否启迪作用： https://wenku.baidu.com/view/ddb7bf6b360cba1aa911da80.html，
你这个薄膜度的是多厚的？
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薄膜与沉底不浸润，可能是沉底有污染，没有清洗干净，建议用酒精、丙酮去洗。
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你这个薄膜度的是多厚的？