为什么溅射不上聚四氟乙烯薄膜
最近将聚四氟乙烯作为靶材，在金属上沉积聚四氟乙烯薄膜，但试了各种工艺条件以及各种基片都没有成功，用的是射频溅射，辉光都很正常。文献中的报道都是怎么做出来的呀？
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京公网安备 11010802022153号
基片包括不锈钢、硅片、铝及玻璃等
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是聚四氟乙烯薄膜沉积不上金属表面上去？个人认为，一是检查基底清洗的情况如何；二是能否给基底稍微预热一下；三是基底能否表面打毛一下。这些措施都是为了使聚四氟乙烯能更好地润湿基底表面。另外，参考一下下面的文献链接：
http://www.360doc.com/content/17/0403/23/41232798_642654783.shtml
非常感谢
，
查看下基底是否干净，应该是这个问题