最近将聚四氟乙烯作为靶材,在金属上沉积聚四氟乙烯薄膜,但试了各种工艺条件以及各种基片都没有成功,用的是射频溅射,辉光都很正常。文献中的报道都是怎么做出来的呀? 返回小木虫查看更多
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是特氟龙
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