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为什么溅射不上聚四氟乙烯薄膜?

作者 wangbing108222
来源: 小木虫 400 8 举报帖子
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最近将聚四氟乙烯作为靶材,在金属上沉积聚四氟乙烯薄膜,但试了各种工艺条件以及各种基片都没有成功,用的是射频溅射,辉光都很正常。文献中的报道都是怎么做出来的呀? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • wangbing108222

    能方便透露吗?不胜感激!

  • wangbing108222

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by 091820053 at 2017-06-21 21:15:40
    这个有技巧的

    能方便透露吗,不胜感激

  • wangbing108222

    引用回帖:
    5楼: Originally posted by 091820053 at 2017-06-21 21:25:09
    这个是铁氟龙吧

    是特氟龙

  • wangbing108222

    引用回帖:
    7楼: Originally posted by 091820053 at 2017-06-22 07:31:57
    我问下回你

    好的,多谢!

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