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AZO 薄膜导电问题

作者 dengdenger: 来源: 小木虫 1000 20 举报帖子

我用的前驱体溶液旋涂热处理成膜。目前在250.300.400下热处理成膜（加热板）。但是薄膜很透，导电性很差。旋涂10层大概1.5微米那么厚，250度的样品去测霍尔，根本测不出来。400度的可以测出来但是电阻率达到10的3次方，方块电阻10的7次方。我唯一能想到的方法就是提高掺杂量，还有提高温度。非常需要您的帮助，现在做这个很迷茫，只是为了毕业，我觉得现在被这个搞的很压抑。希望大家帮帮我。??

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精华评论

dengdenger
peterflyer

除了提高掺杂量、提高温度以外，个人觉得还要提高薄膜的密实度，减少其中的气孔率，为此需要增加薄膜对基底的润湿度和降低前驱体悬浮液的表面张力。
dengdenger
a979805929
zirenfly

Al掺杂ZnO,建议先从纯的ZnO薄膜开始做，然后按梯度增加Al的含量，不用的溶质和溶剂是什么，除了处理温度（可以加到800或者以上用马弗炉），也要注意加热的温度处理时间，时间短了是没有效果的。这个导电性薄膜导电性推测不会太好。
zirenfly

这个能做导电薄膜？http://www.sciencedirect.com/sci ... i/S1567173908001259 Structural, electrical and optical properties of sol–gel AZO thin films

从文献里找思路，
dengdenger
Jimo001

如果手上有闲置样品，寄过来我们帮你测一下吧。需要的话站内先回复