您好，请问有没有做氮化硅薄膜方向的？我最近做的氮化硅表面总会有一些颗粒。
1.以前相同的工艺做的薄膜没有问题，该问题最近才出现。
2.薄膜厚度大约300nm，测试电阻没有问题；
3.清理了反应腔体和通气管道但是没有效果.
4.测试颗粒成分为Si和N元素，
是要考虑条件不够优化，还是其它污染问题？请问有没有遇到过相同的问题的？谢谢

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