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硅片上加工1.5mm深的孔

elvassorelab  (举报此信息)
请问有没有哪种方法可以在硅片上加工至少1.5mm深的圆孔?孔的直径大概是6mm.
SU8肯定做不到对吗?
深硅刻蚀呢?
还有其它的方法吗?
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