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硅片上加工1.5mm深的孔

作者 elvassorelab
来源: 小木虫 700 14 举报帖子
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请问有没有哪种方法可以在硅片上加工至少1.5mm深的圆孔?孔的直径大概是6mm.
SU8肯定做不到对吗?
深硅刻蚀呢?
还有其它的方法吗? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • elvassorelab

    引用回帖:
    8楼: Originally posted by 天天搬砖 at 2017-08-09 06:03:03
    特种加工~话说专业的事给专业的人做。找个硅片加工厂什么的呗。

    就是想找专业的人做啊,我们没用这个条件。但是至少想知道能用什么方法加工再有针对性地去找,要不找到的都只能用光刻胶或深硅刻蚀

  • 榴莲菠萝蜜

    深刻蚀是可以的,

  • 榴莲菠萝蜜

    深刻蚀有一个宽深比极限,

  • libindragon

    微型金刚石砂轮磨孔也可以试一下

  • 龙行天下

    掩模法离子刻蚀

  • GinKooMEMS

    我们的技术可以满足你的要求,请站内联系我。

  • 嗜血之翼

    随便找家MEMS加工的技术上问题不大,不过正如你说,那些加工单位有的硅片一般确实是300、400、500微米的,但是我记得有厚的(如果我没记错的话),不过话又说回来,你6mm,1.5mm这个尺寸什么东西要用硅?这个尺寸可以精密机械加工了吧,我们这边0.3mm的孔都可以机加工,当然如果你一定是硅才行就当我没说、、、

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