请问有没有哪种方法可以在硅片上加工至少1.5mm深的圆孔?孔的直径大概是6mm. SU8肯定做不到对吗? 深硅刻蚀呢? 还有其它的方法吗? 返回小木虫查看更多
深刻蚀是可以的,
深刻蚀有一个宽深比极限,
微型金刚石砂轮磨孔也可以试一下
掩模法离子刻蚀
我们的技术可以满足你的要求,请站内联系我。
随便找家MEMS加工的技术上问题不大,不过正如你说,那些加工单位有的硅片一般确实是300、400、500微米的,但是我记得有厚的(如果我没记错的话),不过话又说回来,你6mm,1.5mm这个尺寸什么东西要用硅?这个尺寸可以精密机械加工了吧,我们这边0.3mm的孔都可以机加工,当然如果你一定是硅才行就当我没说、、、
就是想找专业的人做啊,我们没用这个条件。但是至少想知道能用什么方法加工再有针对性地去找,要不找到的都只能用光刻胶或深硅刻蚀
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深刻蚀是可以的,
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随便找家MEMS加工的技术上问题不大,不过正如你说,那些加工单位有的硅片一般确实是300、400、500微米的,但是我记得有厚的(如果我没记错的话),不过话又说回来,你6mm,1.5mm这个尺寸什么东西要用硅?这个尺寸可以精密机械加工了吧,我们这边0.3mm的孔都可以机加工,当然如果你一定是硅才行就当我没说、、、