小弟现在在做调研，查了不少文献关于微米级别的二氧化硅薄膜的导热系数的文章，查到一部分数据。目前需要5微米的二氧化硅薄膜在不同温度下的导热系数。或者是可以提供测试条件的单位也可以（同时能制备二氧化硅薄膜，物理溅射的方式在氧化铝基体或者硅基体上）。先谢谢了。

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