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半导体晶片的磨抛工艺

作者 无敌小番茄
来源: 小木虫 150 3 举报帖子
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想问一下半导体晶片应该怎么磨抛,我们采用的是NaoH腐蚀,但是最后晶片上部总是油腻腻的,求解

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  • 精华评论
  • 随意就好?

    半导体晶片有很多种,抛光和研磨用的辅料都是不同的,具体是哪种材质,硅片还是别的什么

  • 随意就好?

    那你们要考虑一下是设备没清洗干净还是辅料的选型有问题了,有的研磨用的辅料是油性的

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