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磁控溅射射频电源

作者 sz1986
来源: 小木虫 700 14 举报帖子
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各位虫友,实验室有一台丹顿品牌的磁控溅射,其中的射频电源(SEREN-赛恩)坏了,大家有没有这方面的维修经验,急求!!!! 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • 野人禾禾

    不知道你所说的坏是什么类型的,启动不了还是电源开启不来?还是匹配不上?这个还是具体问题具体分析,使用射频快10年了,各种问题都出现过,常见的就是真空电容损坏这个还好办,如果是电路问题,还是找专业维修吧,或者再采购一台,

  • Dongdeduoa

    真心地,千万千万别机寄回国外修。时间太长。国内能搞定就别寄走。

  • mmmalow

    借问一下,一台赛恩的溅射电源多少钱啊,在哪可以查到这些信息

  • 大胡子程

    楼主,你的维修好了吗?

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