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重庆MEMS 杂谈

作者 cqmems
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(以下内容为笔者根据公开内容整理、分析或推测,如有不符还请提出,笔者会更正或者删除,转发请注明出处。)
时至今日,虽然重庆的高科技产业有所发展,但庞大的机械制造等重工业仍然给人笨重的感觉。从政府决策,招商引资等方面可以看出重庆市一直想在以传统的机械等重工业为主的产业格局中发展高科技产业。对于高科技产业,自然脱离不开半导体。在全国大跃进的背景下,半导体成为了最引人注目的产业。当然,以重庆市政府的专业性,自然不会忽略这一重要领域。重庆市是一直对半导体情有独钟的,其动作也比当前的半导体建厂潮要早的多。除却京东方、海力士、ATS暂且不表,仅说fab,最早在2007年引入渝德,却生不逢时,母公司倒闭,最后中航接盘,现在还是亏损状态;后来的三星,被西安抢了先机;GF则是没谈拢,成了成都的女朋友;唯一谈成的AOS,先期只是封测厂,fab何时还未可知;中科渝芯算作土生土长,经营状况也不明朗。从这些看来,重庆满心热情,但天不遂人愿。不过屡败屡战,精神可嘉。
重庆的半导体如此,下面我们来说说半导体中一个小的方向,MEMS微机电系统。MEMS算是半导体中后起之秀吧,当然相对于IC体量也小很多。要不是乔布斯的苹果手机,MEMS还要晚几年爆发。重庆市政府嗅觉也是比较敏锐,早在2001年的时候就成立了重庆微系统科技股份有限公司,主要的股东有重庆市政府、重庆大学、重庆声光电(下属三个所)、重庆金山科技等。但这个公司并没有做出什么成绩,当前的状态已是注销,不免让人唏嘘。这个公司的股东中,包含了重庆号称做MEMS的四家单位中的三家,即重大、声光电和金山科技。另外一家就是目前和声光电一山之隔的中航微电子。下面会剖析一下这些公司MEMS的实际状况。
重庆大学也是国内开展MEMS较早的单位之一,主要是是光电工程学院的温志渝教授带领的团队,他也是重庆市MEMS专家委员会委员。他在MEMS领域做出了许多成果,论文、获奖颇丰。从大的领域来说,MEMS在2010年之前或者更早,大学作为前沿技术研究的机构还是具有很大的优势以及地位。但是随着MEMS加工技术、设计技术的成熟,工业界产业链的完善,大学在这个领域的使命也就慢慢结束。所以,目前国内的大学MEMS也已经开始往纳米、微流控、Bio等方向转移;其次,需要指出,对于半导体来说,工业界的技术水平是远远领先于高校研究所的,这与其他领域截然不同,作为半导体一个分支的MEMS当然也不会脱离这种现象。所以作为MEMS技术的预研目前高校还有那么点优势,同时考虑到半导体的重资本特点以及高校研究生的高流动性,对于MEMS产业化则要另寻他路了,当然重庆大学(或者说重庆)也不例外。
重庆声光电最初是由中电24所,26所,44所合并的中电科下的子集团公司。目前在重庆南岸区以及西永分别有厂区。去年声光电又与四川绵阳的9所进行了合并,目前专业领域涉及到了声光电磁四个领域。声光电公司虽然是一个企业,但是其研究所得特性还是非常浓重的,其保密做得也比较好, MEMS研究状况也仅有零星消息。从其发布的招聘信息来看,主要偏重于MEMS惯性以及压力传感器的研发,但是进展、产业化情况却无从知晓。声光电旗下的中科渝芯(6寸Fab)应该是声光电MEMS的主要加工平台,但是考虑到中科渝芯的主营业务是IC与功率器件,MEMS也仅仅是一个极其边缘化的方向。鉴于声光电在MEMS业界的知名度,其MEMS方向要么主要内部应用,要么也仅仅是一非主营业务部门,产业化、市场化还有很远的路要走(也许需要一在MEMS领域有坚定决心的领导)。
中航微电子的前身是渝德科技,但渝德科技生不逢时遇到半导体的低谷,母公司破产倒闭,重庆市政府独自承担了两三年直到中航2011年接盘。中航进入后收购了L-foundry的一条8寸线,才使公司经营状况慢慢转好,但是至今未摆脱亏损。中航微电子从事的MEMS主要是非制冷红外探测器以及高温压力传感器。从这两个高端的方向我们不难看出中行微电子当初发展MEMS的决心。但是从近两年中航微电子的企业宣传来看,该公司已将方向定位于功率半导体研发生产的IDM企业。那么其MEMS也就可想而知是被边缘化的一项业务。《〈近期有一新闻,就是中航(重庆)微电子中航电公司的股份已经划给华润微电子。这对于重庆的MEMS来说会有一定的影响。华润微电子的上华和华晶都有可能接受中航微电子。如果是上华(有MEMS业务)接手,有可能会推动原中航微电子乃至重庆MEMS的发展。如果是华晶(主营功率半导体)接手则基本无望了。只能感叹,重庆的MEMS真是命途多舛。〉》
重庆金山科技公司宣传上说自己是一基于MEMS技术的高科技企业。但是从其产品来看,更像一医疗器械公司,唯一与MEMS搭边的可能是其医疗器械中使用的传感器。在笔者看来,这已经不能算MEMS企业,MEMS也只是公司宣传的噱头而已。
哎呀,差点忘记了一个公司,那就是德尔森。德尔森与两江新区政府2015年的新闻可是铺天盖地,投资2.8亿元建造中德MEMS传感器智能制造基地,但到现在也没有任何动静。从官网、招聘等信息可以推测,德尔森在国内仅仅是一个压力传感器模块制造商,至于芯片或者是使用其他公司wafer,或者是国外子公司设计制造。这有点像歌尔声学的麦克风了。
从上面可以看到,MEMS在重庆的发展真的是弱之又弱。在全国半导体/MEMS大发展的背景下,如果延续这种状态,重庆的MEMS将会一步差步步差,会被越落越远。其实,对于MEMS在某个区域的发展国内是有比较多的可借鉴的先例的。最典型的当属苏州了,依托苏州纳米所的微纳加工平台以及市政府的支持,苏州吸引了许多优秀人才,诞生了众多的研发设计公司。也许,重庆借助这种模式,MEMS会有更好的发展。

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