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XRD测薄膜应力

作者 jiangpengju
来源: 小木虫 300 6 举报帖子
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在聚合物上面镀了合金薄膜,但是基底容易翘曲,想测薄膜应力,请问大牛,XRD能测么?

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  • 精华评论
  • 13813921817

    可以
    X射线衍射仪测量应力或应变,利用Bragg 衍射公式求出薄膜  微晶体晶面间距的变化

  • wjm1992o2

    你好,我这边可以测薄膜的残余应力,联系方式私信给你吧

  • mobirthte

    可以的吧,利用bragg衍射公式或者一些软件可以直接模拟分子的晶格结构,然后在模拟薄膜的相关参数!!

  • ddt2006

    明显有应力,改进镀膜工艺,然后取不翘曲和翘曲的对比,可以得知不翘曲的残余应力。只测残余应力解决不了问题吧

  • sxll

    个人认为理论上可以测,但实际测量误差会比较大,主要是XRD测量这些的时候,一般都是假定这个测试结果没有其他影响因素,但只要有假定这个前提,结果就不敢说了,

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