磁控溅射镀膜时，镀膜自偏压变怎么回事？
请前辈们指教一二！
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我用的是cvd
辉光放电不稳定吧
一般金属膜需要加载偏压，加载偏压对膜层致密程度影响较大，另外一般离子清洗需将偏压调整较高情况进行。
应该是机械泵的哪个阀门松了，才会漏油，我们这用的沈科仪的设备，机械泵下面的一个阀门松了，现在也是有点漏油
，
应该是结合力太差或者薄膜内应力比较大吧，镀的时候加基体偏压试试。