请问电子束蒸发Pt、Ti、Au用什么材质的坩埚?目前用的是石墨坩埚,坩埚经常出现裂纹,请问有什么解决办法吗? 返回小木虫查看更多
用磁控溅射做会更致密一些吧
坩埚大小不合适,跟水冷贴合不好
主要是石墨的强度不好,可以尝试用下C/C的坩埚或者C/SiC的坩埚,有兴趣可以私聊哦!
请问你们石墨坩埚开裂的问题解决了吗??我现在也遇到相同的问题。谢谢。
用磁控溅射做会更致密一些吧
坩埚大小不合适,跟水冷贴合不好
我们有些需要用电子束蒸发
坩埚的材质会有影响吗?
主要是石墨的强度不好,可以尝试用下C/C的坩埚或者C/SiC的坩埚,有兴趣可以私聊哦!
请问你们石墨坩埚开裂的问题解决了吗??我现在也遇到相同的问题。谢谢。
没有……你呢
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