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电子束蒸发Pt、Ti、Au所用坩埚

作者 小麦麦123
来源: 小木虫 450 9 举报帖子
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请问电子束蒸发Pt、Ti、Au用什么材质的坩埚?目前用的是石墨坩埚,坩埚经常出现裂纹,请问有什么解决办法吗? 返回小木虫查看更多

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  • 精华评论
  • 强哥哥哥

    用磁控溅射做会更致密一些吧

  • lvyiyilv

    坩埚大小不合适,跟水冷贴合不好

  • 小麦麦123

    引用回帖:
    2楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2017-10-17 21:03:46
    用磁控溅射做会更致密一些吧

    我们有些需要用电子束蒸发

  • 小麦麦123

    引用回帖:
    3楼: Originally posted by lvyiyilv at 2017-10-17 22:47:01
    坩埚大小不合适,跟水冷贴合不好

    坩埚的材质会有影响吗?

  • 445101273

    主要是石墨的强度不好,可以尝试用下C/C的坩埚或者C/SiC的坩埚,有兴趣可以私聊哦!

  • 兰陵小磊

    请问你们石墨坩埚开裂的问题解决了吗??我现在也遇到相同的问题。谢谢。

  • 小麦麦123

    引用回帖:
    7楼: Originally posted by 兰陵小磊 at 2018-08-22 20:32:47
    请问你们石墨坩埚开裂的问题解决了吗??我现在也遇到相同的问题。谢谢。

    没有……你呢

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