建议对这些黑点进行一下EDS和电子衍射分析看看。

我想问的是你的溅射工艺里有没有掺杂一点点氧气，你可以试试

引用回帖:

3楼: Originally posted by 野人禾禾 at 2017-11-16 17:57:11
我想问的是你的溅射工艺里有没有掺杂一点点氧气，你可以试试

我的基底是Ag， 如果通氧的话，Ag基底会被氧化，所以只通入了氩气

引用回帖:

4楼: Originally posted by benbenyou at 2017-11-17 09:27:13
我的基底是Ag， 如果通氧的话，Ag基底会被氧化，所以只通入了氩气...

嗯，你是射频陶瓷靶氧化铝吧？射频溅射氧化物一般得出的膜中会稍稍有些氧元素缺失：
1. 你如果在玻璃上沉积会比较明显，膜层的透明度不够，也就是亚氧状态的氧化物，我们以前做ITO SnO2 ZnO都有这种情况，比如一般充10%氧气；
2. 还有一种你可以观察靶材的跑道，如果还和本体一样的颜色，那基本没问题，如果跑道颜色已经比本体暗很多，说明靶材缺氧了。

当然具体在照片上，膜上的小黑点是不是缺氧的AlOx，还得进一步确认
，