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磁控溅射制备AlN薄膜能在室温下进行吗?

作者 zjdpanda
来源: 小木虫 500 10 举报帖子
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我们实验室的磁控没有办法控温,所以无法升温,那AlN能在室温下镀吗?其它工艺,氩氮比,功率,气压都有什么要求?

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  • 精华评论
  • lqm070

    试试吧,用这材料的靶。摸索工艺,也不是没有可能

  • LAnza_lw

    温度的话,可以先放电一段时间待其温度提升,Ar的话稍微少一点

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