我们实验室的磁控没有办法控温,所以无法升温,那AlN能在室温下镀吗?其它工艺,氩氮比,功率,气压都有什么要求? 返回小木虫查看更多
试试吧,用这材料的靶。摸索工艺,也不是没有可能 ,
温度的话,可以先放电一段时间待其温度提升,Ar的话稍微少一点
试试吧,用这材料的靶。摸索工艺,也不是没有可能
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温度的话,可以先放电一段时间待其温度提升,Ar的话稍微少一点