最近用磁控溅射溅射石墨，在安装靶材的时候靶材与压环的配合不是很好，靶材尺寸比压环偏大一丢丢。勉强压住后只敢把螺丝上得刚刚紧。磁控溅射完后，石墨靶卡在阴极压环里，且十分牢固。有类似经历的小伙伴 请问怎么无损取下靶材？有如何在以后的溅射过程避免此类事故发生？

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