有人知道怎么洗掉(去除)GaAs表面的polyimide吗？
光刻掩模弄错了，已经在350度加热固化了。
GaAs表面的polyimide如何洗掉？用丙酮行吗？
不想用酸，会对GaAs有腐蚀作用。
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Pw1500是感光型polyimide，在没有固化之前和普通光阻一样，可以用NMP去除，350度固化之后，可以用氧等离子体打掉，这个我试过。
，
UV去胶可以考虑