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磁控溅射真空检漏

作者 tzsigouzzz
来源: 小木虫 550 11 举报帖子
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各位前辈,我现在做的是多靶磁控溅射,最近出现在镀膜时,真空室门口的那块靶附近会变蓝或者暗黄色(靶材是Cr靶),其他的靶附近都是正常颜色,是不是说那块靶附近漏气了,真空每天关了分子泵以后大概是10-3量级,第二天早上开机就到几十帕了,要怎么检漏呢

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  • 精华评论
  • 野人禾禾

    Cr膜变蓝,应该是生成了氧化或氮化物。首先你设备的极限真空是多少?现在的数值和它之间有多大的差距,你可以判断一下。
    几pa也算不上多大的漏。
    检漏最专业最精确的当然是检漏仪。粗检你可以用IPA或者酒精,在高真空情况下,将怀疑的漏点从下到上喷洒,观察真空变化,

  • tzsigouzzz

    极限真空大概到-5级别了,不过一般用不到那么级别,第二天直接漏到了几十帕了呢,只有那一块靶附近有这种现象是不是可以说漏气主要出在那附近呢,用酒精捡了几次,真空度都没有变化的

  • GXFGMB

    氦质普检漏仪检测

  • xy_yancheng

    实验过,酒精检不可取,还是得用氦质谱仪,看最近有没有拆卸过什么东西,可能是没装好,有密封圈的地方可以拆下来看看需不需要换密封圈

  • xy_yancheng

    另外,漏气整个真空室内都有氧气,不存在某一区域有其他没有,铬靶变黄,可能靶材不纯,建议换靶材试试

  • 夜独醉浪子心

    路过!

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