有没有对多弧离子镀设备了解的，想请教一些问题
是这样的，最近在做多弧离子镀Ni工艺，但是总是会出现弧斑不稳定，连续性的断弧现象，不知道怎么解决，有没有了解的大神帮忙指教一下
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新靶还是旧靶
增大分压;靶材向腔室内推移;引弧针与靶材接触点往中心靠;增大电流;氩气流量调大点 都可以试下
如果还是不行，可能要修弧电源了
断弧的话应该是外接磁场大小不对，导致产生的电弧分散，靶材上这一个点起弧，下一个点达不到起弧的条件，当然电流大小也会有影响，也不知道你具体参数，所以没法具体说
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