应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 碳复合 » 磁控溅射沉积碳膜，通入甲烷会有利于提高溅射效率
51/1返回列表
查看: 746  |  回复: 4
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 formula678 的 20 个金币

formula678

新虫 (小有名气)

[交流] 磁控溅射沉积碳膜，通入甲烷会有利于提高溅射效率

各位前辈们，请问如果要用磁控溅射沉积碳膜或者含碳膜，老师们建议通入甲烷，会有利于提高碳的沉积效率，但是有的文章说到，和甲烷差不多的乙炔用于沉积类石墨碳。还是不是意味着甲烷或者乙炔这类气体也会被溅射到薄膜里呢？

发自小木虫Android客户端
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼2021-11-10 20:53:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
等离子体会让甲烷或乙炔有一定程度的裂解，所以镀层除了磁控碳膜还有含氢碳膜
赞一下(2人) 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
2楼2021-11-19 10:18:25
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lll磊子

铁虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
等离子体会使甲烷离化，因而制备出来的薄膜是含氢碳，做纯碳膜要用碳靶磁控溅射，希望有所帮助，你是哪里，做DLC的
赞一下 回复此楼
3楼2021-12-06 18:46:51
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

刘太阳

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
老哥，我也有类似的问题，想咨询下你，方便加下QQ吗

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2022-02-10 19:16:27
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

野人禾禾

金虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
甲烷或乙炔都会有一定程度裂解，然后再基片沉积，但是薄膜是含氢键的类金刚石或类石墨薄膜；
最后还是看你需要的碳膜的性能，如果含氢没影响的话，确实可以提高沉积速率
赞一下 回复此楼
擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
5楼2022-05-19 15:26:06
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 formula678 的主题更新
51/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复(可上传附件) 论文翻译-EnPapers美助理教授团队-SCI英文润色
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 前些天开会有个人见到人就搞关系，一查此人全是MDPI/Hindawi论文，鄙视! +37 zju2000 2024-06-02 44/2200 2024-06-07 08:44 by 20094958
[论文投稿] 求大神推荐医学相关的SCI 85+3 知识产权服务 2024-06-03 6/300 2024-06-07 06:25 by licheng78
[高分子] 懂的都来说说看，这是啥情况啊 +3 中国学院 2024-06-04 3/150 2024-06-06 23:55 by 骆驼刺
[精细化工] cab-35是不是智商税 +3 桃花流水炖肥鱼 2024-06-02 4/200 2024-06-06 23:05 by 桃花流水炖肥鱼
[基金申请] 5B能上会么？ +12 Tenfu 2024-06-05 14/700 2024-06-06 22:34 by mch20120521
[基金申请] 中华学术外译去年5.5出的，今年咋回事还不出 +3 Lynn212 2024-06-04 5/250 2024-06-06 16:56 by 蚂蚁游泳
[论文投稿] 审稿快、要求低的SCI四区开源期刊有么？ +6 zch哈哈 2024-06-03 7/350 2024-06-06 16:23 by p-cloud
[论文投稿] 被预警的期刊还能再投嘛？ 30+7 779931956 2024-06-04 9/450 2024-06-06 16:08 by 学员XxVJy5
[论文投稿] under consideration是被拒了了吗？ +3 alive.... 2024-06-06 3/150 2024-06-06 12:21 by 知识产权服务
[论文投稿] 博士学的是健康教育，需要自己找课题，哪位大神帮忙指导一下，选什么健康教育课题呢？ 30+3 lepeau 2024-06-05 5/250 2024-06-06 11:38 by nono2009
[硕博家园] 材料博士毕业 +8 112233ssg 2024-06-02 9/450 2024-06-06 04:58 by kangshisan
[有机交流] 席夫碱反应ph敏感 控制ph在多少呢？ 10+4 段sy 2024-06-05 4/200 2024-06-05 22:36 by xiaoyidao129
[基金申请] 各位，F01口的YQ有收到通知的吗？ +3 zmm891258 2024-06-05 5/250 2024-06-05 17:06 by godlovewho
[有机交流] 求指点这一步反应如何实现 50+4 35ghjs 2024-06-04 12/600 2024-06-05 10:51 by 35ghjs
[基金申请] E口人才项目发通知了么？ +3 linan2011 2024-06-04 3/150 2024-06-04 22:34 by hncxu
[教师之家] 选择 +9 水冰月月野兔 2024-05-31 13/650 2024-06-04 11:50 by 459582015
[论文投稿] 编辑对文章提的意见 40+3 qa8386136 2024-06-01 4/200 2024-06-04 09:58 by 1234peng
[基金申请] F口的人才项目上会通知发了吗 +3 youyou5656 2024-06-02 5/250 2024-06-03 20:07 by dujinglike
[教师之家] 职能部门工作人员态度不好是普遍的吗？怎么让他们态度好一些？ +7 河西夜郎 2024-06-01 7/350 2024-06-03 08:37 by YY392619
[基金申请] 哎 +5 河马の史诗 2024-06-02 5/250 2024-06-02 19:05 by 328838485
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭