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【Fudan labouratory】磁控溅射原子层沉积、刻蚀、光刻、电子束蒸发、纳微切割
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【Fudan  labouratory】
QQ:591213820手机:18902274224(微信同号)
添加劳请备注 小木虫 谢谢,回复消息不及时可随时电话骚扰~

半导体芯片的工艺开发、流片服务,包括单步和多步工艺的开发等微纳加工

可满足光电器件、功率器件、微流控器件、mems等多领域的开发。

光刻服务:具有接触式曝光机,光刻精度可达到1微米;

薄膜生长:拥有PECVD(等离子体增强气相沉积)、LPCVD(低温气相沉积)和ALD(原子层沉积)、磁控溅射等设备,可以做h-si、SiO2、Sin、Al2O3、ITO、TiN、ZnO等薄膜的生长

金属镀膜:金、银、铬、铜、铝、铂、高熵合金等几十种薄膜的蒸镀,可做小批量验证和大批量生长;

刻蚀技术:氮化镓、砷化镓、深硅刻蚀、氧化硅、氮化硅材料;

划片工艺:陶瓷基板、玻璃、硅片等材料的切割;

特殊工艺:pi材料镀膜、高密度差指电极镀膜、pdms材料倒模、玻璃材料腐蚀、硅材料腐蚀;

另有:晶圆减薄、cmp抛光、晶圆键合等工艺服务;
"

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41楼2023-12-26 00:13:33
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47楼2024-01-31 16:52:59
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48楼2024-03-28 10:02:27
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49楼2024-03-28 21:14:37
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50楼2024-03-31 22:42:11
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51楼2024-04-14 20:59:49
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52楼2024-04-28 08:29:12
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