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| 【悬赏金币】回答本帖问题，作者xf881019w将赠送您 100 个金币 | ||
[求助]
PVD薄膜沉积过程中的Overlay Mark shift问题
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| 如题所示，求一些相关文献，PVD的薄膜沉积中，这种Overlay的Mark shift是由于靶材后面的磁控管造成的吗？磁场对这个现象的应先是怎样的？求相应的参考文献或者书籍类的资料 |
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