磁控溅射真空检漏
各位前辈，我现在做的是多靶磁控溅射，最近出现在镀膜时，真空室门口的那块靶附近会变蓝或者暗黄色（靶材是Cr靶），其他的靶附近都是正常颜色，是不是说那块靶附近漏气了，真空每天关了分子泵以后大概是10-3量级，第二天早上开机就到几十帕了，要怎么检漏呢
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对了，还发现一个问题就是刚开始漏的很慢，大概一分钟0.001Pa,半个小时后一分钟大概0.02Pa,后面漏的越来越快，请问这是什么原因呢
，
磁控靶冷却效果不好
把靶的冷却水管打开一路，鼓气，看看堵没堵。