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古迹

金虫 (小有名气)

[求助] 晶体表面磁控溅射镀金,一直脱膜,该怎么优化工艺?已有3人参与

二氧化碲晶体表面,用磁控溅射镀膜,条件也试了很多种,一直脱膜,怎么解决啊,懂行的虫友给点意见吧。
条件是,以Cr作缓冲层,磁控溅射加轰击,电流115mA,打底真空度是1×10-3Pa,溅射真空3×10-1Pa,Cr溅射电流0.5A,Au溅射电流0.4A。
镀出来的膜不牢,用胶带一撕就脱落,是从Cr一起脱落的。单镀Cr层的时候还是很牢,就是一起镀两层的时候就脱落,这个该哪方面优化啊

晶体表面磁控溅射镀金,一直脱膜,该怎么优化工艺?


晶体表面磁控溅射镀金,一直脱膜,该怎么优化工艺?-1


晶体表面磁控溅射镀金,一直脱膜,该怎么优化工艺?-2


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酸菜鱼jie

禁虫 (小有名气)

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3楼2021-02-08 09:13:30
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酸菜鱼jie

禁虫 (小有名气)

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11楼2021-03-04 11:45:09
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