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zhzhpe123

木虫 (小有名气)


[资源] 一篇关于蓝光LED的博士论文,很详尽!!

本文主要研究了GaN基LED的MOCVD材料生长与性质,主要内容如下:
1.研究了缓冲层的作用机理以及高温生长初始阶段生长V佃比、生长压力、等
参数对GaN表面形貌、晶体质量、光学质量以及电学质量的影响。利用EBSD
技术研究了蓝宝石—GaN界面处的局域应力的分布情况,结果表明GaN缓冲
层已呈现出具有小角度位错的单晶结构,失配应力也通过GaN缓冲层得到释
放;在低温以及高温生长的初始阶段,较高的压力利于增大岛的尺寸,减小
岛密度,同时降低高温生长初始阶段的V/Ⅲ比还可以推迟GaN小岛的合并,
减少刃位错密度;采用斜切的衬底,可以有效地降低缺陷密度,提高GaN的
晶体质量。并且存在一个最优斜切角度O.20,此时GaN外延层不但具有光滑
平整的表面,而且具有最优的光学与电学性质,并对其作用机理进行了探讨。
优化了本征GaN材料的生长条件,成功制备出了迁移率高达6970m2N-s的
器件级高质量GaN外延材料。
2.研究了GaN掺杂的基本原理以及掺杂对材料特性和器件性能的影响。
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  • 2012-02-16 11:21:12, 5 M

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you111

银虫 (初入文坛)


★★★ 三星级,支持鼓励

XIEXIEXIEIXIE
117楼2012-05-18 11:39:19
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